<del id="djb1h"><mark id="djb1h"></mark></del>

    <i id="djb1h"><b id="djb1h"></b></i>

    <rp id="djb1h"><mark id="djb1h"></mark></rp>

      <menuitem id="djb1h"></menuitem>
        <big id="djb1h"><progress id="djb1h"><ins id="djb1h"></ins></progress></big>

          <del id="djb1h"><span id="djb1h"></span></del>

            <strike id="djb1h"></strike>
          <ruby id="djb1h"></ruby>
            <rp id="djb1h"></rp><noframes id="djb1h"><ruby id="djb1h"><ins id="djb1h"></ins></ruby>

                            这是描述信息

                            中文  |   English

                            切换中文

                            服务热线:

                            010-58237766

                            热门关键词: 电子测量  生物微流控  等离子表面处理设备   薄膜分析设备  单细胞操纵分析    生物微流控

                            搜索
                            搜索

                            产品中心

                            全部分类
                            uv-kub01
                            uv-kub02
                            • 新一代曝光光刻机UV KUB 3

                            • UV KUB 3 是一款集成式桌面型紫外曝光光刻机,其 采用 365nm 紫外 LED 冷光源以及高精密光学准直系 统,可实现 1um 的光刻精度和小于 2°的发散角。UV KUB 3采用开放式样品盘,可以进行不同模式的曝光 光刻,如软接触或硬接触模式;同时配备了高精密 的位移台,辅以双 CCD 成像系统,可在 5 分钟内实 现 1um 的对位精度。
                            • uv-kub01
                              uv-kub02
                            产品描述
                            图片
                            简介
                            规格参数
                            功能图解
                            应用系统
                            相关下载
                            相关下载

                            新一代曝光光刻机UV KUB 3


                            UV KUB 3 是一款集成式桌面型紫外曝光光刻机,其 采用 365nm 紫外 LED 冷光源以及高精密光学准直系 统,可实现 1um 的光刻精度和小于 2°的发散角。UV KUB 3采用开放式样品盘,可以进行不同模式的曝光 光刻,如软接触或硬接触模式;同时配备了高精密 的位移台,辅以双 CCD 成像系统,可在 5 分钟内实 现 1um 的对位精度。

                            特色


                            • UV LED 光源
                            • 设计紧凑,操作简单
                            • 高精度 365nm +/- 5nm 单色光光源
                            • 可进行软接触和硬接触曝光光刻(含
                            • 压力测量传感器)
                            • 兼容目前市场上的全部光刻胶
                            • 分辨率: < 1µm
                            • 手柄自动巡航对位,对位精度: 1µm

                             

                            主要性能


                            • 365nm 单色 LED 光源,带宽小于 10nm
                            • 图像辅助的自动巡航 PAD 操作对准定位系统
                            • 采用高光强 LED 冷光源,避免光源发热引起的温度
                            • 变化干扰,提高光刻面均匀性;
                            • 光源寿命大于 10000 小时,减少维护及使用成本;
                            • 可调节 UV 光强
                            • 友好的触摸屏操作界面,可编程光刻工艺;
                            • 无需预热,快速开始进入工作状态;
                            • 全封闭紫外曝光区域,保障操作人员的安全;
                            • 半自动晶圆上下料系统
                            • 低功耗,节能环保

                             

                            性能指标


                            • 最小光刻尺寸 1µm
                            • 对位精度 1µm
                            • 紫外光源波长 365nm +/- 5nm
                            • 光源光强 35mW/cm² +/- 10%
                            • 光刻区域工作温度变化 < 1°C
                            • 工艺时间 (连续/非连续模式) From 1s to 1h
                            • 可保存光刻工艺数量 无限制
                            • 外形尺寸 475x480x515mm
                            • 总重量 55kg / 121lbs
                            • 触摸屏尺寸 15.6” diagonal,color
                            • 供电电源 100V/240V –
                            • 50Hz/60Hz
                            • 功耗 180 Watts
                            • 2020-UVKUB3-product-sheetCN.pdf

                              大小:
                              2021-05-28 14:24:53
                            公众号二维码

                            微流控平台

                            公众号二维码

                            电子测量平台

                            公众号二维码

                            官方淘宝店

                            邮箱:sales@beijingec.com

                            电话:010-58237766

                            地址:北京市朝阳区酒仙桥东路9号A2-西七层

                            留言应用名称:
                            客户留言
                            描述:
                            验证码

                            北京燕京电子有限公司  版权所有    京ICP备18021011号      网站建设:中企动力  北京

                            好多水好爽小荡货好紧好热_亚洲精品无码av海量_国模冰莲极品自慰人体_苍井空高潮满足抖动